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H/He 이온 주입기이온 주입 시스템은 반도체 제조 및 첨단 소재 개발을 위한 핵심 공정 장비입니다. 이는 집적 회로 제조, 화합물 반도체 처리 및 기능성 물질 수정에 널리 사용됩니다.자세히 보기
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고에너지 이온 주입기이온 주입 시스템은 반도체 제조 및 첨단 소재 개발을 위한 핵심 공정 장비입니다. 이는 집적 회로 제조, 화합물 반도체 처리 및 기능성 물질 수정에 널리 사용됩니다.자세히 보기
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저에너지 고전류 이온 주입기LEII-100은 고성능-저에너지-고에너지-전류 이온 주입기입니다. 첨단 반도체 제조를 위한 저-에너지 고용량-도핑 공정에 최적화되었습니다. 이 기계는 저에너지 환경에서 탁월한 성능을 발휘하는 광범위한 에너지 범위를 갖추고 있습니다. 이는 에너지 제어, 입자 성능 및 금속 오염 억제 측면에서 고급 공정 요구 사항을 엄격하게 충족합니다. 매우 효율적인 웨이퍼 운송 및 스캐닝 하위 시스템을 갖춘 LEII{16}}100은...자세히 보기
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