테스트 웨이퍼

TC Wafer를 사용하면 특정 웨이퍼 지점의 실시간- 온도 측정과 웨이퍼의 전체 온도 분포를 얻을 수 있습니다. 또한 가열, 냉각, 정상 상태 프로세스 및 지연 시간을 포함한 열 프로세스 전반에 걸쳐 일시적인 온도 변화를 지속적으로 모니터링하는 데 활용할 수 있습니다(수율 관리를 위한 용광로 온도 균일성 데이터 획득 등).